진공에서 전자총(electron gun)에서 광원으로 쓰이는 고속의 전자를 발사하면 전자가 시료표면에 충돌하면서 상호작용하여 이차전자(Secondary Electron, SE) 혹은 후방산란전자(Back Scattered Electreon, BSE)가 발생된다. 검출기는 이를 이용하여 시료의 표면을 관찰한다.

- 모델명 : Vega3
- 구입회사 : TESCAN

시료 크기 및 준비에 크게 제약 받지 않고 금속, 광물, 무기물, 세라믹, 시멘트, 유리, 플라스틱, 고무, 석유, 도료, 의생물, 반도체 IC, 직접회로, 전자부품 등의 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다.

- 측정을 위한 준비사항 : 측정할 시료, 니트릴 장갑
- 예약방법 : 학과사무실에서 예약일지 작성 및 열쇠 수령
(매 학기(2,8월)에 이용자 교육을 들은 학생만 이용가능)
- 매뉴얼
1. ‘Vega TC’ 프로그램을 사용
2. 시료에 맞게 샘플링을 진행하고, 시료에 Au를 코팅한다.
3. 시료를 넣은 후 프로그램에서 pump 버튼을 눌러 다시 진공을 잡아준다.
4. 저배율에서 원하는 샘플의 위치를 찾는 뒤 고배율 측정을 한다.
5. 측정을 완료한 뒤, 프로그램에서 Vent 버튼을 눌러 진공을 완전히 풀어준 후, 기기에서 시료를 제거한다.
6. 시료를 제거한 후에 pump 버튼을 눌러 진공으로 만든 뒤에 Stand by를 마지막으로 눌러 종료한다.

- 교육영상 https://pusanackr-my.sharepoint.com/:v:/g/personal/chem_pusan_ac_kr/ETP1M1U4Eb1BmE98ic691vABe_d08UfOk3C9tXedW25n9A?e=NtCo4z